SOI技术: 21世纪的硅集成电路技术

出版社:科学出版社
出版日期:1993
ISBN:9787030037572
作者:(比)考林基(Colinge,J.P.)
页数:215页

作者简介

书名原文:Silcon-on-insulator technology

内容提要    本书包括:SOI材料、SOI材料的表征技术、SOI MOSFET、SOI电路等8章。

题名    Silcon-on-insulator technology

主题    绝缘衬底上外延硅MOS集成电路