等离子体在材料中的应用

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本书重点对等离子体的渗氮、沉积技术、制作纳米材料作了较详细的论述，从原理、设备、材料、操作、质量检测以及实际应用中出现的问题用其解决办法，作了简明扼要而又通俗的描写。

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