多晶硅和石英玻璃的联合制备法

作者简介

《多晶硅和石英玻璃的联合制备法》以传统的多晶硅和石英玻璃的生产方法为基础，介绍了多晶硅和石英玻璃联合制备法的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素，提出了降低多晶硅生产成本的几个途径，并总结了相关安全生产的知识。内容紧密结合生产操作实际，阐述由浅入深，通俗易懂，知识丰富，实用性强。

 多晶硅和石英玻璃的联合制备法下载