热学微系统技术

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序前言第1章　绪论1.1　 导言1.2　 常规热学微系统技术的研究范畴1.3　 微／纳尺度生物热学技术的研究范畴1.4　 热学微系统技术的国内外研究态势1.5　 微尺度生物热学研究的国内外态势1.6　 热学微系统技术的发展前景展望1.7　 生物热学微系统技术的发展前景展望1.8　 小结参考文献第2章　微／纳米器件的热学与流体加工技术2.1　 导言2.2　 MEMS加工技术发展概况2.3　 自上而下及自下而上的微／纳米加工方式2.4　 MEMS热加工技术2.5　 传统硅材料微加工技术中的热学问题2.6　 微尺度光刻技术中的热学控制问题2.7　 MEMS粉末沉积热加工技术2.8　 微尺度热胶接技术2.9　 MEMS加工中的热压塑技术2.10　 喷射微液滴的微尺度加工2.11　 基于微流体的加工方法2.12　 气泡微加工方法2.13　 微细电火花加工技术2.14　 加工微器件的软刻技术2.15　 MEMS封装技术中的热应用2.16　 MEMS热加工技术的发展趋势2.17　 低温加工技术2.18　 光学精密器件低温加工2.19　 生物工程低温加工2.20　 化学工程低温加工2.21　 机械工程低温加工2.22　 电子工程低温加工2.23　 冷冻干燥型微加工技术2.24　 低温微加工技术前景2.25　 生物微加工技术参考文献第3章　纳米热流体技术3.1　 导言3.2　 纳米流体技术概念3.3　 基于纳米流体的热管3.4　 以纳米液滴为添加物的纳米流体3.5　 纳米金属流体3.6　 基于纳米颗粒控制纳米流体3.7　 纳米流体研究展望参考文献第4章　微纳米流体器件技术4.1　 导言4.2　 微／纳米流体阀门概况4.3　 控制微／纳米流体的冰阀技术4.4　 冰阀器件的执行过程及影响因素4.5　 基于固液相变的蠕动泵4.6　 湿性电路中电信号的控制4.7　 微流体测量器件的制作4.8　 测量微流量的热阻式传感器4.9　 监测微流体参数的电阻抗法4.10　 经皮微针阵列式药物输运方法参考文献第5章　微／纳米操作技术5.1　 导言5.2　 微／纳米操作技术概念5.3　 微／纳米操作的特点5.4　 基于机械效应的微操作技术5.5　 基于水力学效应的微操作技术5.6　 基于单一电学效应控制的纳米镊5.7　 基于电磁效应的微操作技术5.8　 基于单一磁学效应的微操作技术5.9　 基于声学效应的微操作技术5.10　 基于光学效应的光镊技术5.11　 基于冻结效应的微冰镊技术5.12　 基于冻融原理的微信号操纵技术5.13　 基于组合效应的微操作技术参考文献第6章　光网络开关中的微热学控制技术6.1　 导言6.2　 光开关技术概况6.3　 主要光开关类型6.4　 基于热光效应的波导光开关6.5　 热光开关的主要优缺点及解决方案6.6　 热光效应光开关中的典型热学问题6.7　 喷墨气泡光开关6.8　 热微管光开关6.9　 液体光纤型光开关6.10　 热致动器驱动的光纤机械开关6.11　 空间加热型热光开关6.12　 冻融型光网络开关参考文献第7章　芯片冷却与热管理中的微系统技术7.1　 导言7.2　 芯片发展趋势对冷却性能的要求7.3　 发展芯片冷却技术的主要途径7.4　 芯片冷却中的典型散热技术7.5　 热电制冷技术7.6　 热离子冷却7.7　 主动式气体制冷技术7.8　 液体金属芯片散热技术7.9　 基于MEMS的微制冷、制热系统7.10　 芯片冷却器中的材料与结构问题7.11　 芯片散热中的导热材料7.12　 芯片散热中的界面材料7.13　 芯片液冷方式中的流体工质材料7.14　 芯片冷却应用中的强化换热结构--固固换热方式7.15　 气固换热方式7.16　 固液换热方式7.17　 芯片冷却技术前景参考文献第8章　基于微系统与纳米技术的功能服8.1　 导言8.2　 功能服概念及国内外研究现状8.3　 功能服的核心组成单元8.4　 功能服加工技术8.5　 纳米材料和技术在功能服中的应用8.6　 仿生技术在功能服中的应用8.7　 两类典型功能服8.8　 功能服前景展望8.9　 基于微纳机电技术的可穿戴式空调系统8.10　 空调服组成单元8.11　 基于微／纳米风扇阵列的空调服8.12　 空调服小结参考文献第9章　微能源系统技术9.1　 导言9.2　 太阳能利用特点及光电池技术9.3　 典型燃料电池概况9.4　 生物质燃料电池概念9.5　 生物质产氢9.6　 利用光能的细菌电池9.7　 利用糖类产电的细菌电池9.8　 生物燃料电池技术9.9　 分解有机物作为能源的机器人9.10　 温差发电器件9.11　 微透平能源系统9.12　 基于同位素的微动力芯片9.13　 太空中的微能源技术9.14　 复合式微能源联合发电参考文献第10章　低温生物学中的微系统技术10.1　 导言10.2　 微量细胞的低温保存10.3　 快速检测生物样品活性的降温动力学曲线方法10.4　 检测生物样品活性的电阻抗方法10.5　 用于快速筛选最佳低温保存程序的生物芯片技术10.6　 微流道式芯片结构10.7　 点样式芯片结构10.8　 生物样品最佳低温保护剂浓度的筛选参考文献第11章　肿瘤纳米医学与微创手术中的热学方法11.1　 导言11.2　 肿瘤纳米热疗技术11.3　 磁性微／纳米颗粒的作用原理与特点11.4　 磁性微／纳米颗粒的种类及其制作方法11.5　 磁性微／纳米颗粒的导入方法11.6　 外加磁场的参数选择及热疗仪的设计11.7　 肿瘤治疗效果11.8　 纳米肿瘤热疗温度场预示11.9　 基于纳米颗粒的射频适形治疗11.10　 在体研究11.11　 肿瘤纳米热疗前景11.12　 纳米冷冻治疗方法11.13　 基于血管介入式加热的微创性全身热疗方法参考文献

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　　《热学微系统技术》可供热科学、物理、电子、机械、器件、材料、化工、生物技术与医学工程等领域的研究人员、工程师以及大专院校有关专业师生阅读参考。

作者简介

《热学微系统技术》围绕热科学前沿领域内近年来发展迅速的微系统技术，集中阐述一些典型微器件的基本原理及研究方法，并剖析了相应主题上若干可供探索的途径和新方向。《热学微系统技术》注重推进微热学方法在若干高新技术领域中的独特应用。热学微系统技术是热科学与微/纳米技术、电子、机械、生物医学及信息技术等现代自然科学相交叉和融合的结果。这一主题近年来的发展十分迅速，已成为多个学科领域内研究人员极为关注的新生长点。

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