力学中的哥德巴赫猜想

出版社:冶金工业出版社
出版日期:2012-8
ISBN:9787502459581
页数:224页

章节摘录

版权页:   插图:   5.5.1.3 600℃退火和未退火ZnO薄膜XRD的比较 实验采用北京电子专用设备技术服务中心研制的JCK—500E磁控溅射仪制备薄膜。工艺参数为:真空度为3×10~Pa,氧分压为0.2Pa,溅射总气压为1.2Pa。靶到基片距离为7.5cm。溅射电压为390V,溅射电流为0.15A,溅射时间为30min。基片为Si(111)和陶瓷片两种。实验气体为高纯的氩气和氧气,靶材为纯度为99.99%的金属锌。 实验中将Si基片和陶瓷片用无水乙醇清洗表面。清洗后的Si基片和陶瓷片放置到样品盘中,放人溅射仪的样品室中。开机械泵抽真空室至粗真空,达到2×10—3Pa量程后,打开分子泵,抽高真空至3 × 10—5Pa后,通人氩气,流量为140cm3/s,开溅射电源,进行炼靶,出现亮的蓝白色辉光后通入氧气,并调节氧气与氩气流量(cm3/s)比为:20:100。溅射时间持续30min,制备出ZnO薄膜。 利用天津试验电炉厂生产的KSP—80—18型马弗炉对溅射的样品进行退火处理,退火温度分别为600℃、900℃、1200℃,为了确保退火彻底,恒温3h,自然冷却后取出。 图5—26为Zn0薄膜(基片为Si(111))在不同的退火温度下的XRD图。x射线衍射试验设备为荷兰PAN—Alytical公司的XPert型X射线衍射仪,Cu靶,偏压40kV。 由图5—25可以看出:ZnO薄膜未经退火的时候,只有一个衍射峰,其位置为28.4°。经过600℃退火处理后,又出现了两个衍射峰,位置分别为38.2°和45.3°。经过计算可以知道,位置在28.4°的衍射峰为Si(111)的衍射峰。位置在38.2°和45.3°。的衍射峰分别为ZnO(101)和ZnO(102)的衍射峰。这说明在未退火的时候,Zn0薄膜为不定形态,当进行6000C退火、3h恒温处理后,ZnO薄膜晶化,主要出现两个晶向,分别为(101)和(102),相比这两个晶向,(102)晶向占优势。我们从薄膜的XRD衍射图(图5—26)中发现,(101)衍射峰不是很平滑,出现一些噪声,分析认为:薄膜生长过程中,薄膜内部存在着成分的起伏,加上空间的限制,晶粒与晶粒互相挤压,致使晶界处存在着较大应力,并且存在大量的位错、断键等缺陷。退火处理后可以释放内应力,修补断键,弥合位错,使偏离平衡位置的Zn原子能够获得足够的能量扩散到晶格位置,使晶相得到改善。根据Scherrer公式:D=Kλβcosθ,可以计算出600℃退火样品的平均粒径为38nm。

书籍目录

1 绪论
2 固体的物质常数及物理量的坐标变换
3 格林定理及其推导与应用
4 弹性力学基础与平面应变场的灿ry方程
5 X射线技术在晶体结构及应力、应变分析中的应用
6 各向异性情况下的应变
7 弹性圆环力传感器的制造与实际应用
8 应力场数值计算有限元方法
9 受多重对称性力圆环中的应力分析
参考文献

编辑推荐

《力学中的哥德巴赫猜想:受径向力圆环中应力计算与应用》适合作为大学及同等学力力学专业的教材,也可供广大科技工作者和工程技术人员阅读、参考。

作者简介

《力学中的哥德巴赫猜想:受径向力圆环中应力计算与应用》的写作目的是攀登世界力学高峰——得到含义清晰又简练的理论计算公式,并绘制出与光测弹性力学试验相一致、示于封面的图案。从弹性力学基础出发,介绍了莫尔圆和最大切应力、Airy双调和方程的建立和应力函数的概念以及方程的通解和特解。《力学中的哥德巴赫猜想:受径向力圆环中应力计算与应用》还对受径向力圆环进行了x射线分析。测定了受力圆环中的应力、应变,得到了不同晶向各向异性的应变的重要结果,又对各向异性的应变及刚度作了机理分析。最后介绍了力学中的有限元方法及受径向力圆环作为测力计的应用。

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