出版社:北工大出版日期:2010-8ISBN:9787563916900作者:顾文琪页数:344页
作者简介
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
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