压电薄膜材料与器件制备技术

出版社:张涛 西北工业大学出版社 (2012-09出版)
出版日期:2012-9
ISBN:9787561234808
作者:张涛
页数:191页

书籍目录

引言    上篇  压电薄膜制备技术第一章  压电薄膜基础理论  1.1  薄膜生长与薄膜结构  1.2  压电原理与铁电效应  参考文献第二章  压电薄膜制备技术与进展  2.1  压电薄膜的制备方法  2.2  压电薄膜研究进展  2.3  压电薄膜性能表征  参考文献第三章  三元系PMnN-PZT铁电薄膜的研究  3.1  铁电材料发展简介  3.2  三元系PMnN-PZT铁电材料特性  3.3  三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征  参考文献    下篇  薄膜压电器件制备技术第四章  声学器件原理与应用  4.1  压电器件的分类  4.2  声学器件原理与应用  参考文献第五章  薄膜体声波谐振器理论研究  5.1  薄膜体声波谐振器的研究进展与热点  5.2  传输矩阵法理论  5.3  薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟  参考文献后记

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张涛所著的《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》主要内容分为引言、上篇、下篇和后记四个部分。在引言部分,对全书内容做了总体介绍。在上篇中,介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法,对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述,主要阐述高压电性:PZT基三元系铁电薄膜PMnN-PZT的制备与表征。在下篇中,介绍了压电器件的分类和声学器件的基础知识与进展,主要阐述了薄膜体声波谐振器(FBAR)的理论仿真、模拟与性能优化方法。在后记部分,对全书内容进行了总结。

作者简介

张涛所著的《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》主要讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术,主要内容分为引言、上篇、下篇和后记。在引言部分,对全书内容做了总体介绍。在上篇中,介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法,对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述,主要阐述高压电性PzT基三元系铁电薄膜PMnN—PZT的制备与表征。在下篇中,介绍了压电器件的分类和声学器件的基础知识与进展,主要阐述了薄膜体声波谐振器(FBAR)的理论仿真、模拟与性能优化方法。在后记部分,对全书内容进行了总结。
《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》可作为声学、材料学、微电子学等相关专业研究生的教学参考用书,也可供声学、压电学、薄膜材料和微型机电器件研究领域的科研工作人员参考。


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